LET (Linear Energy Transfer) - 선형 에너지 전달
LET는 입자가 재료를 통과할 때 입자의 단위 경로 길이당 에너지 손실을 말합니다. LET의 단위는 MeV cm2/mg이고 경로의 단위 길이당 에너지 손실(MeV/cm)은 표적 물질의 밀도(mg/cm3)로 정규화되어 LET는 표적과 독립적으로 인용될 수 있습니다.
이온화 손실(Ionization Loss)은 반도체 소자에서 아주 중요한 과정인데 이온화 과정에서 표적 물질을 관통하는 입자에 의해 단위 길이당 축적되는 에너지인 LET로 그 특성을 나타낼 수 있습니다. 여기에서 에너지 손실은 입자의 에너지가 LET로 손실되어 표적 물질에 축적되는 것을 의미합니다.
일반적인 의미에서의 LET는 MeV cm-1, eV nm-1, keV nm-1와 같이 에너지를 거리로 나눈 값으로 표현할 수 있습니다. 그러나 손실된 에너지는 관통하는 재료의 밀도에 정비례하므로 선형 에너지 전달값을 재료의 밀도로 나누는 것이 더 유용합니다. 여러 JEDEC 표준에서는 통상적으로 LET단위를 [MeV cm2mg-1]로 표시하는데 이는 MeV cm-1을 밀도인 mg/cm3로 나눈 값을 의미하고 그래서 대상 물질의 밀도로 정규화된 LET는 [MeV cm2mg-1]단위로 표기합니다.
아래 그래프는 LET의 깊이별 분포를 보여주고 있고 공기 중에서 5.49 MeV의 알파 입자가 이동하면서 점점 더 많은 에너지를 물질에 전달하다가, 이동 경로의 끝에서 급격히 에너지 전달률이 증가한 후 갑자기 멈추는 특성을 보여줍니다. 이때의 급격한 에너지 전달 구간이 Bragg peak이며, 이 지점이 LET가 가장 높은 지점입니다.
