방사선 평가 노하우
QRT는 2018년부터 방사선 평가(TID/SEE/DDD 등)를 서비스해 왔습니다. 이 기간 동안 축적한 시험 설계·계측·해석 노하우를 바탕으로, 레이저 기반 SEE 평가와 중이온 시험 간 상관관계를 체계적으로 확립하기 위한 데이터를 지속적으로 수집하고 있습니다. 레이저 결과를 중이온 결과의 신뢰 가능한 전조 지표로 활용할 수 있도록 모델을 고도화하고 있습니다.
뛰어난 디바이스 전처리 능력
중이온 기반 방사선 평가와 레이저 평가를 위한 샘플 준비 단계에서는 De-capsulation과 Back-side Thinning 등의 전처리가 필수입니다. QRT는 이러한 전처리를 외주에 의존하지 않고 사내에서 직접 수행합니다. QRT는 40여 년간 종합 분석 및 신뢰성 평가로 축적한 경험을 바탕으로 평가 전처리 과정을 최고의 품질로 제공합니다. 이를 통해 고객의 시험 목적과 일정에 부합하는 재현성 높은 평가 환경을 구축합니다. 전처리와 평가를 일괄 수행하면 공정 간 손실을 줄이고 리드타임과 비용을 함께 절감할 수 있습니다.
De-Capsulation 된 소자
계측 장비와의 Combination
QRT의 레이저 평가는 자체 QRT SEE Analysis System (SAS) 뿐만 아니라 National Instruments사의 PXI등 다양한 계측 플랫폼과 유연하게 연동됩니다. 오실로스코프, DAQ, SMU 등과 조합해 레이저 조건과 계측을 동기화함으로써, 디바이스 특성에 맞춘 더 유연하고 다양한 평가 시나리오를 구현합니다.
QRT SEE Analysis System (SAS)
중이온 대비 10%수준의 가격
Up-Screening에서 방사선 내성 평가는 필수이며, 특히 중이온 SEE 시험이 전체 비용의 상당 부분을 차지합니다. 동일 부품 기준으로 레이저 기반 SEE 평가는 중이온 대비 약 10~25% 수준이어서 비용 부담을 크게 낮출 수 있습니다. 초기 스크리닝부터 설계 보완까지 짧은 주기로 반복 검증이 가능해 예산과 리드타임을 함께 절감할 수 있습니다.
Sensitive Area Analysis
QRT는 나노미터 단위로 정밀 제어가 가능한 고해상도 XYZ 스테이지와 레이저 스캐닝 기술을 활용하여, 반도체 칩 상의 특정 위치에 레이저를 정밀 조사합니다. 이를 통해 SEE 발생 위치를 정확히 파악하고, 회로 내 민감 영역(Sensitive Area)을 가시화하여 제공합니다.
Sensitive Map
Lab Access Service
QRT의 Laser Testing Lab은 자체 개발 프로그램인 QRT-LITE(Laser Irradiation Tools for Evaluation)로 타사 대비 더 직관적인 조작과 정밀 제어를 제공하여 사용 편의성을 크게 높여 처음 사용하는 분도 쉽게 셋업하고 운용하실 수 있습니다.
다음은 자체 개발 프로그램의 주요 강점입니다.
고해상도 Chip Image
칩(Chip) 이미지는 높은 해상도를 얻기 위해 여러 장을 촬영해 한 장으로 이어 붙이는 이미지 스티칭(Image Stitch) 방식으로 제작됩니다. QRT-LITE(Laser Irradiation Tools for Evaluation)의 Auto Image Scan은 이 과정을 자동화해, 다수의 이미지를 촬영하고 합성하여 자연스러운 한 장의 고해상도 이미지로 완성합니다.
Stitch 원리
Chip 이미지와 XYZ Stage의 동기화
QRT-LITE는 사용자의 간편한 조작을 위해 상위의 Image Stitch로 만든 고해상도 칩 이미지를 XYZ Stage와 연동합니다. 이미지 위에서 원하는 지점을 클릭하면, 그 좌표를 실제 좌표계로 변환해 XYZ Stage가 정확히 해당 위치로 자동 이동합니다.
칩 이미지 클릭을 통한 스테이지 이동
오실로스코프 및 Source meter 와의 유연한 연동
QRT-LITE는 Keysight 오실로스코프와 직접 연동되어 아날로그 디바이스의 Transient(과도 응답) 를 자동으로 캡처 및 저장합니다. 오실로스코프에서 트리거가 발생하면 QRT-LITE가 즉시 파형과 타임스탬프를 수신 및 기록하며 평가 후 Sensitive Area Map을 생성할 수 있습니다. 또한 SMU(소스미터), DAQ 등과의 연동을 통해 전류 및 전압 응답까지 통합적으로 분석가능합니다. 이러한 기능을 통해 간단한 소자는 추가적인 개발 없이 평가가 가능합니다.
오실로스코프 연동 패널
Scheduling
QRT-LITE는 직접 좌표를 설정하거나 간편하게 드래그로 스캔 구역을 지정하면, 해당 좌표를 자동으로 Scan List에 추가합니다. 각 항목마다 레이저 조건 (에너지, 펄스 반복 수 등)을 개별 설정할 수 있어, 효율적인 평가가 가능합니다.
드래그를 통한 스캔 영역 설정
또한, 이전에 사용한 설정을 저장해 두고 필요할 때 한 번에 불러와 사용할 수 있습니다.
Scan list 불러오기
Fast Testing
QRT-LITE는 장비와의 통신 및 제어 파라미터를 최적화해 지연을 최소화하고, 장비가 발휘할 수 있는 최대 성능을 이끌어냈습니다. 더불어 1 Hz ~ 1 kHz의 넓은 펄스 반복 수로 레이저를 구동하여, 용도에 따라 더 빠르고 다양한 평가를 유연하게 수행할 수 있습니다.
